Q1: ما هي سبائك نقاء الفائقة المستخدمة في أنظمة توصيل غازات أشباه الموصلات؟
A1:مصقول electro 316L VIM-VAR (الفراغ الحث المذاب-القوس القوس المليء) الصلب غير القابل للصدأ هو قياسي للغازات عالية النقاء . سبائك النيكل مثل copoy -22 مقبض السلائف المسبقة {{7} الحفاظ على مستويات النقاء أقل من 1ppb مستويات الملوثات .
س 2: كيف يتم التحكم في عدد الجسيمات في الأنابيب ذات الدرجة شبه الموصل؟
A2:يمنع تجميع غرفة التنظيف تلوث الجسيمات أثناء التثبيت . يزيل التنظيف بالموجات فوق الصوتية بقايا التصنيع . عمليات التخميل تحسين كيمياء السطح . تحافظ على أنظمة التطهير المستمرة (<0.1 particles/ft³ >0.1μm).
س 3: ما الذي يجعل لوحات غاز أشباه الموصلات مختلفة عن الأنابيب الصناعية؟
A3:تستخدم لوحات أشباه الموصلات مكونات نقاء عالية للغاية مع اتصالات مصممة المعادن .<5Ra micro-inch smoothness. Specialized valves and regulators prevent outgassing. Complete systems are helium-leak tested to <1×10⁻⁹ atm-cc/sec. These extreme measures prevent wafer contamination.
س 4: لماذا تقنيات اللحام الخاصة المطلوبة لأنابيب أشباه الموصلات؟
A4:إن اللحام المداري النبضي عالي التردد يقلل من مدخلات الحرارة والتشويه . تطهير مع الأرجون الفائق العالي يمنع الأكسدة . المستويات .
س 5: كيف يتم التحقق من صحة أنابيب توصيل الغاز في FABs أشباه الموصلات؟
A5:يتضمن التحقق من الصحة تحليل الغاز المتبقي للملوثات . sims (طيف الكتلة الأيوني الثانوية) يتحقق من تكوين السطح . اختبارات الاختبارات الخارجية تحدد كمية الانبعاثات المتطايرة .
